MEMS与微系统 设计、制造及纳尺度工程 第2版
【作 者】徐泰然著
【丛书名】国外电子与通信教材系列
【形态项】 370
【出版项】 北京：电子工业出版社 , 2017.03
【ISBN号】978-7-121-30499-6
【中图法分类号】TM38
【原书定价】79.00
【主题词】微电机-高等学校-教材
【参考文献格式】 徐泰然著. 国外电子与通信教材系列 MEMS与微系统 设计、制造及纳尺度工程 第2版. 北京：电子工业出版社, 2017.03.
内容提要:
本书从工程设计的角度讲解微机电系统，并同时从电子与机械两个层面介绍相关的技术。本书首先对纳米技术的发展历史做了一个简要的回顾，然后对各种纳米结构在工程设计方面的基本原理做了详细的介绍，包括形成纳米结构的制造技术、基于分子动力学的工程设计原理以及纳尺度材料中的流体流动与热传导特性等。
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