等离子体放电与材料工艺原理 第2版
【作 者】迈克尔·A.力伯曼（Michael A.Lieberman）著；蒲以康译
【形态项】 536
【出版项】 北京：电子工业出版社 , 2018.01
【ISBN号】978-7-121-28022-1
【中图法分类号】O53;O461
【原书定价】128.00
【主题词】等离子体-放电
【参考文献格式】 迈克尔·A.力伯曼（Michael A.Lieberman）著；蒲以康译. 等离子体放电与材料工艺原理 第2版. 北京：电子工业出版社, 2018.01.
内容提要:
本书反映了等离子体物理相关领域*新的研究进展，深入阐述了等离子体物理和化学的基本原理。书中应用基本理论来分析各种常见等离子体源的放电状态，包括计算等离子体参数及分析等离子体参数与控制参数的相关关系。本书还讨论了半导体材料的刻蚀，薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，具有实际参考价值。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。
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