新型表面形貌测量仪器
作 者 ：杨练根，王选择著
出版发行 : 北京：科学出版社 , 2008.02
ISBN号 ：978-7-03-021042-5
页 数 ： 208
主题词 : 机械量仪
中图法分类号 : TG8 ( 工业技术->金属学与金属工艺->公差与技术测量及机械量仪 )
内容提要: 本书首先系统地对表面形貌测量仪器的发展进行了综述，然后从原理、结构、信号处理、软件设计等方面论述了基于微恒力位移传感器的表面形貌测量系统等三种表面形貌测量仪器，最后论述了表面形貌测量仪器的关键部件——运动工作台。
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